產(chǎn)品編號(hào)：JL-IVM
產(chǎn)品用途：LED，Wafer引線框架清洗活化，粘片/鍵合/塑膜/封裝前進(jìn)行處理，對(duì)產(chǎn)品表面去除靜電、粉塵、氧化物、活化等，提高材料表面的親水性、活化性、附著力和粘接力等。
應(yīng)用領(lǐng)域：SMT制程、PCB/FPC加工等。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
Wafer在線等離子清洗機(jī)是一款針對(duì)從wafer制造的高效率光刻膠去除工藝到芯片封裝領(lǐng)域獨(dú)特的在線式等離子清洗工藝 ，適用于wafer清洗及芯片封裝的多功能設(shè)備，滿足客戶全方位需求。
產(chǎn)品規(guī)格
型號(hào)
JL-IVM-010
JL-IVM-011
外形尺寸MM
1600(L)*1000(W)*1700(H)MM
1600(L)*800(W)*1400(H)MM
腔尺寸 MM
300(L)*500(W)*50(H)
300(L)*120(W)*50(H)
軌道數(shù)量
雙軌八道
單軌一道
清洗效率
600片每小時(shí)
120片每小時(shí)
等離子發(fā)生器
13.56MHz，0~600W可調(diào)。
13.56MHz，0~300W可調(diào)。
真空度
0.01~0.8Torr
氣體通道
2路，（O2/Ar/H2/CF4可選）
產(chǎn)品尺寸(MM)
長(zhǎng)140~280，寬30~80,可定制
長(zhǎng)140~280，寬30~80,尺寸可定制
冷卻方式
風(fēng)冷
真空泵
無(wú)油泵
針對(duì)產(chǎn)品
集成電路/LED封裝
功能應(yīng)用
1、LED，Wafer引線框架清洗活化。
2、Silicon Wafer晶圓表面活化。3、粘片前進(jìn)行處理，提高芯片附著力。；4、鍵合前進(jìn)行處理，提高鍵合強(qiáng)度。5、塑模和封裝前進(jìn)行處理，減少封裝分層。6、硅晶片的表面有機(jī)物的清洗。
1、針對(duì)LED，IC封裝工序設(shè)計(jì)。2、配備自動(dòng)上片，傳輸，清洗，收片等功能。3、高度自動(dòng)化作業(yè)，減少人員干預(yù)，降低二次污染風(fēng)險(xiǎn)。4、模塊化設(shè)計(jì)，組件更換靈活，切換產(chǎn)品快速。5、采用13.56MHZ電源，清洗時(shí)間短，無(wú)濺射，溫度低。6、運(yùn)行過(guò)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，動(dòng)畫(huà)指示工作過(guò)程，一目了然。7、設(shè)備操作權(quán)限分級(jí)管理，生產(chǎn)過(guò)程可管控。8、故障報(bào)警可追索，有提示，快速排查故障部位，便于維護(hù)。
聯(lián)系方式
Wafer在線等離子清洗機(jī) 訂購(gòu)熱線：135-3805-8187 電話咨詢 （微信同號(hào)）
